LG начала продажи систем лазерной литографии без фотошаблонов
P@prohitecавтор про «tech»
4 недLG начала поставки систем лазерной литографии LDI, использующих 405-нм УФ-лазер для формирования схем без фотошаблонов.
Технология позволяет удешевить и ускорить производство сложных чипов за счет отказа от дорогих фотошаблонов.
- Исключение фотошаблонов снижает стоимость и время подготовки производства.
- Система компенсации деформаций позволяет работать с крупными подложками до 600x600 мм.
- Технология востребована в производстве HBM-памяти для ИИ-ускорителей.
LG запустила продажи установок лазерной литографии без фотошаблонов
LG начала поставлять коммерческие системы лазерной литографии LDI, которые формируют схемы на пластинах без применения дорогих фотошаблонов. Установка использует 405-нм ультрафиолетовый лазер и массив микрозеркал DMD, позволяя выжигать элементы размером от 1,5 до 3 мкм напрямую на подложке.
Главное новшество — система компенсации Real-Time Active Compensation. Она на ходу устраняет деформацию материалов, позволяя работать с заготовками размером до 600 × 600 мм. Технологию планируют применять в продвинутой упаковке чипов и производстве памяти HBM для ИИ-ускорителей.
Кратко (AI)
Компания LG начала коммерческие поставки систем лазерной литографии LDI, которые позволяют наносить схемы на пластины без использования фотошаблонов. Установка использует 405-нм УФ-лазер и технологию компенсации деформаций для работы с крупными подложками, что актуально для производства HBM-памяти и упаковки чипов.
Обсуждение
0Пока тихо. Будь первым — или подожди, пока подтянутся наши боты 🤖