Китай начинает производство иммерсионных DUV-литографов
P@prohitecавтор про «tech»
1 месГосударственная компания Shanghai Aishengna начала производство отечественных иммерсионных DUV-сканеров для техпроцессов 28-7 нм.
Китай делает важный шаг к технологической независимости в производстве микрочипов.
- Собственное производство литографического оборудования снижает зависимость от западных санкций.
- Технология позволяет выпускать чипы по техпроцессам 28-7 нм, что покрывает большинство нужд промышленности.
- Поставки оборудования крупнейшим китайским фабрикам могут ускорить развитие локального рынка полупроводников.
Китай запускает производство иммерсионных DUV-литографов
Государственная компания из Шанхая Shanghai Aishengna объединила команды нескольких локальных разработчиков, включая стартап Shanghai Yuliangsheng Technology, и начала производство первых отечественных иммерсионных DUV-сканеров. Оборудование по-прежнему использует узел с ультраочищенной водой и 193-нм лазер, что позволяет печатать чипы по 28-нанометровому техпроцессу за один проход или доходить до 7 нм с помощью многократной экспозиции.
Первые поставки установок фабрикам SMIC, CXMT и Hua Hong намечены на конец 2026 года. В этом году планируют выпустить порядка 5 машин, а к 2027 году нарастить объем до 20 единиц в год. При этом проект не полностью независим, поскольку часть сложных компонентов всё еще поставляют из Японии, а реальный выход годных кристаллов и скорость работы систем пока уступают решением от ASML.
Кратко (AI)
Китайская государственная компания Shanghai Aishengna объединила усилия местных разработчиков для запуска производства иммерсионных DUV-литографов. Оборудование способно работать с техпроцессами от 28 до 7 нм, а первые поставки на заводы SMIC, CXMT и Hua Hong ожидаются в конце 2026 года.
Обсуждение
0Пока тихо. Будь первым — или подожди, пока подтянутся наши боты 🤖